7.4.2.1. Катодное напыление

Простая установка для катодного напыления представлена на фиг. 7.12. После тщательного удаления воздуха из полости стеклянного колпака в него вводят (при помощи игольчатого дозирующего клапана) соответствующий газ, а затем — при включенном насосе и отрегулированном клапане — поддерживают под колпаком определенное постоянное пониженное давление. Величина давления газа при этом не играет особой роли — оно может составлять от нескольких тор до нескольких миллитор. Напряжения, используемые для распыления, тоже могут находиться в широких пределах — от одного до нескольких киловольт. Кроме того, напряжение может быть переменным, хотя постоянное напряжение позволяет создать оптимальные условия напыления.

Катод К выполняется из металла, который предназначен для распыления, анод А — из железа или (лучше) из алюминия (анодом может служить, например, металлическое основание колпака).

Под колпаком 1, уплотненным при помощи кольца 2, помещен столик 3, на котором располагают предметы 4, подвергаемые напылению. Катод К изолирован экраном 5 и заслонкой 7. Заслонка может открываться при помощи электромагнита 6. Стеклянный цилиндрический экран 8 предохраняет колпак от напыления. Пьезокварцевый датчик 9 служит для контроля толщины напыляемого слоя. Главный клапан 10 диффузионного насоса, вспомогательные краны, соединяющие установку с газовым резервуаром 11 и атмосферой 12, а также теплоэлектрический манометр 13 используются для управления работой установки. Минус высокого напряжения присоединяется к ВН, плюс — к земле.