7.4.1.4. Примеры установок

На фиг. 7.11,а показана современная установка для металлизации поверхностей в вакууме, разработанная Варшавским институтом промышленной электроники. В ее состав входят; система из трех цеолитовых сорбционных форвакуумных насосов и ротационного насоса с цеолитовым поглотителем, высоковакуумная насосная система с ионно-сублимационным насосом, несколько переходников (между ионным насосом и колпаком), а также колпак (со смотровыми окнами) диаметром 350 и высотой 450 мм и его гидравлический подъемник.

Переходные фланцы по окружности установки (фиг. 7.11,6) предназначены для введения под колпак разных вспомогательных устройств и их питания.

Скорость откачки воздуха ионно-сорбционным насосом составляет ~1000 л•с-1 предельное давление под колпаком без прогрева после 5 ч откачивания составляет ≤5•10-9 Тор, с прогpeвoм колпака (в течение 2 ч при температуре 520 К) после 10 ч откачивания ≤5•10-10 Тор, вес установки 200 кг.