7.4.2.2. Принцип работы установки

Время напыления составляет от 10 мин до нескольких часов. Средняя плотность разрядного тока равна —10 мА•см-2.

Скорость напыления возрастает с увеличением напряжения и силы тока.

На фиг. 7.13 показана ионизационная камера (вакуумный колпак снят и находится на заднем плане). Стержневой катод установлен вдоль оси камеры, а анодный диск помещен на тарелке колпака. При давлении ~10-4 Тор получаемая плотность ионного тока достаточна для эффективной металлизации предметов под колпаком.

Катодному напылению лучше подвергать поверхности простой формы, не имеющие углублений, лабиринтов и т. п., так как к таким местам не проникают атомы распыляемого металла. Однако поверхность не должна быть слишком гладкой, например полированной, поскольку напыленный слой на ней плохо держится. Поверхность для катодного напыления, как и при осаждении из паровой фазы, должна быть очень чистой.

В табл. 7.1 приведены различные металлы в порядке эффективности их использования для напыления в атмосфере газов, обычно применяемых при катодном напылении.