7.4.1.3. Установка для вакуумного осаждения паров

Насосы описанной вакуумной системы имеют следующие характеристики: ротационный насос 1 — скорость откачки 0,6 л•с-1, объем вакуумного резервуара 10 л; масляный диффузионный насос 3 с ртутным диффузионным насосом 2 — скорость откачки 35 л•с-1 (диаметр вакуумного тракта насоса 3—70 мм); вспомогательный ротационный насос 4— скорость откачки 8 л•с-1.

Откачивание колпака до порогового рабочего давления диффузионных насосов занимает ≈ 5 мин. Диффузионные насосы доводят давление до 10-4 Тор за ≈10 мин, а до 10-5 Тор — за ≈ 30 мин.

Колпак имеет диаметр —500 мм и высоту —600 мм, изготовлен из нержавеющей стали и снабжен тремя смотровыми окнами. Уплотнение между краями колпака и платформой установки представляет собой резиновое кольцо, уложенное в кольцевую канавку. Для измерения давления в вакуумной системе используются электронный ионизационный и термопарный вакуумные манометры; неоновые индикаторы позволяют контролировать характеристики низкого вакуума.

На фиг. 7.9 не показано устройство для получения паров.

В качестве источника энергии для испарения служит трансформатор низкого напряжения (20 В) на ток 200 А. Для возможного катодного напыления, а также обезгаживания и очистки внутренних поверхностей колпака тлеющим разрядом предусмотрен трансформатор высокого напряжения (10 кВ, 100 мА). Установка потребляет электрическую мощность ≈4 кВт, расход охладителя составляет ≈ Зл•мин-1.