Определение натекания вакуумной камеры

Введение.

В этой статье мы кратко рассмотрим понятие натекания вакуумной камеры и методику выявления. Статья предназначена для специалистов, обслуживающих вакуумное оборудование, и поможет им лучше понять это важное понятие и его влияние на работу вакуумной камеры.

Определение Натекания Вакуумной Камеры

Натекание вакуумной камеры - это процесс, при котором давление внутри вакуумной камеры увеличивается из-за проникновения газа или жидкости извне или изнутри камеры. Это может привести к нарушению вакуумного режима и ухудшению работы вакуумного оборудования.

Причины Натекания Вакуумной Камеры

Натекание вакуумной камеры может быть вызвано следующими причинами:

1. Проникновение газа из окружающей среды через микроскопические отверстия или трещины в стенках камеры.
2. Утечка газа изнутри камеры, например, из-за неисправности других компонентов.
3. Выход из строя уплотнителей и прокладок в следвие химического воздействия и нечастой замены. (Как правило, наиболее частая причина.)
4. Конденсация паров или жидкостей на внутренних поверхностях камеры.
5. Неправильная эксплуатация или обслуживание вакуумного оборудования.
6. Загрязнение камеры.

Обратите внимание, что натекание вакуумной камеры не всегда связано с проникновением газа из окружающей среды. Важно учитывать все возможные причины натекания для эффективного обслуживания и ремонта вакуумного оборудования.

1. Термины и определения. 

Вакуум - состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного. 

Вакуумная камера - откачиваемый сосуд, часть вакуумной системы в котором создаётся вакуум.

Натекание - проникновение газа из окружающей среды в откачиваемый (откачанный) сосуд что приводит к увеличению давления и ухудшению вакуума.

1 л * мкм рт. ст./с —  величина натекания, равная 1 л/с при давлении в системе 1 мкм или 10–3 мм рт. ст. Т.е. - поток, который вызывает в объеме 1 литр изменение давления на 1 мкм ртутного столба за 1 е.

2. Определение натекания вакуумной камеры.

Натекание определяют на холодной печи, прошедшей дегазацию. Перед проведением натекания, вакуумную печь необходимо держать под разряжением не менее 3-5 часов.

Для определения натекания вакуумной камеры необходимо:

• достичь паспортных значений вакуума в камере;
• по достижении паспортных показателей — изолировать камеру и включить секундомер;
• запись измеренных показаний вести с интервалом 5 минут в течение 20 минут;
• рассчитать натекание по формуле:

• Где Р1 - начальное значение вакуума, Па (мм.рт.ст.);
• Р2 - конечное значение вакуума, Па (мм.рт.ст.);
• t - время испытания на герметичность, равно 1200 с. (20 минут);
• V – общий объем печи, V= 11,5 м³(11500 л).

Данные заносятся в протокол. И сравниваются с паспортными значениями.

Рекомендуемое значение натекания — 8-10 л мкм рт.ст./с.

В отдельных случаях для правильной оценки течи следует учитывать объем.

Дополнительные материалы:

• Методика определения времени достижения вакуума.
• Ремонт вакуумного оборудования.
• Оценка течей вакуумных печей.
• Вакуумная тренировка объема печи.
• Газонепроницаемость и газовыделение материалов в вакууме.
• Водородная болезнь вакуумных камер.
• Вакуумные технологии. Е.П. Шешин.