7.8.2. Автоматы с неподвижным насосом

На фиг. 7.26 представлена для примера схема неподвижного кольца (статора) и системы форвакуумных и диффузионных насосов в 24-позиционном карусельном автомате с неподвижными насосами. Этот автомат применяется для откачки приемно-усилительных радиоламп.

В позиции 1 производится выемка из гнезда ниппеля, оставшегося после снятия готовой лампы. В позициях 2 и 3 вставляются лампы для откачки; в позиции 4 происходит первая операция откачки, в позиции 5 — контроль герметичности (например, при помощи укороченного барометра, соединенного регулируемым каналом малого сечения с форвакуумом). В позициях от 6 до 14, а затем от 15 до 18 лампы проходят через печь, где подвергаются прогреву. В позициях 19—21 производится прокалка электродов в индукционной печи высокой частоты; в позициях 22, 23 осуществляется прогрев поглотителя (геттера) и его распыление. В позиции 24 снимается готовая лампа. Как видно из фигуры, только последние четыре позиции обслуживаются диффузионными насосами, а все остальные — масляными ротационными.

Фото1016

В насосных автоматах с подвижными насосами каждому гнезду соответствует собственный диффузионный насос, соединенный своим входом непосредственно с отверстием этого гнезда, выходы насосов связаны отдельными каналами с венцом, к которому подведен общий форвакуум. Часто между венцом и диффузионными насосами устанавливают индивидуальные резервуары форвакуума; это в значительной степени демпфирует колебания давления на входе в диффузионный насос в случае внезапного увеличения давления (например, вследствие разрушения баллона одной из ламп).

На фиг. 7.27 представлен 36-позиционный автомат с подвижными диффузионными насосами. Вакуум подводится к венцу в четырех секциях; эти секции обслуживает один большой масляный ротационный насос.