7.8.1. Откачка электронных вакуумных приборов

Откачка таких сравнительно дорогих приборов, связанная с довольно сложными технологическими процессами, требует очень чистого вакуума, свободного, в частности, от органических загрязнений. Поэтому в таких откачивающих системах стараются не применять масляных насосов, заменяя их цеолитовыми, сублимационно-ионными криогенными насосами.

На фиг. 7.23 представлен высокоавтоматизированный насосный шкаф для откачки специальных электронных ламп сериями по нескольку десятков штук сразу. Кроме системы насосов, в нем имеются печи для нагревания ламп при откачке и источники электропитания.

Установки для откачивания небольших вакуумных приборов массового производства (например, малых приемно-усилительных радиоламп, ламп накаливания, газосветных ламп и т. д.) должны обеспечивать возможно быструю автоматическую откачку совместно с рядом попутных операций (таких, как нагревание, обезгаживание, формирование катодов, наполнение газами и т. п.). Такое откачивание производится на так называемых карусельных автоматах.

Насосные автоматы, на которых некоторые операции (как, например, установка ламп для откачки и т. п.) выполняются вручную, называют полуавтоматами.

Карусельный автомат имеет две основные части: неподвижное основание и карусель, на которую устанавливаются объекты, подвергаемые откачке.

На неподвижном основании обычно размещаются нагревательные печи (газовые или электрические высокой частоты), горелки для отпаивания, измерительные приборы и т. п., а также насосы; на карусели размещаются откачиваемые объекты, а иногда также и диффузионные насосы.

Различают два типа карусельных автоматов, с неподвижными и подвижными насосами.

Между каруселью и неподвижным основанием автомата имеется шлифовый венец, предназначенный для герметичного соединения обеих частей автомата. Он состоит из двух колец или пришлифованных дисков (фиг. 7.24), через которые проходят вакуумные каналы. Два кольцевых паза с обеих сторон выходов каналов наполняются смазкой и служат для уплотнения колец.