7.6.3. Измерение давления водорода при осаждении титана

Скорость испарения титана составляет 4 г•ч-1 (1,5•1019 атомов титана в 1 с). Количество титана, осаждаемого в течение 1 мин на 1 м2 поверхности, обеспечивает адсорбирование 1 Тор•л газа (воздуха или водорода). В описанной вакуумной системе работает много таких титановых сублиматоров; каждый из них потребляет мощность ~3 кВт.

Как уже упоминалось, вместе с титановыми насосами непрерывно работают масляные диффузионные насосы, поддерживающие в системе достаточно низкое давление. Применение охлаждаемых отражателей паров масла в данной системе затруднительно и, кроме того, снижает скорость откачки. С другой стороны, адсорбция паров масла на криогенных поверхностях с осаждающимся титаном невыгодна, так как тоже значительно уменьшает эффективность откачки даже в случае применения наилучших масел (например, силикона DС705). Поэтому, невзирая на неудобства охлаждаемых отражателей, на входе в диффузионные насосы установлены лабиринтные отражатели, охлаждаемые до температуры 220 К при помощи фреоновой холодильной машины. Кроме того, введен экран, охлаждаемый жидким азотом, который заслоняет титановые поверхности от молекул масла, распространяющихся со стороны диффузионного насоса. В результате на титановых поверхностях не отмечалось следов масла даже по истечении многих недель работы диффузионных насосов.

Давление в системе снижается очень быстро даже без нагрева стенок. Через несколько часов откачки получается давление порядка 10-6—10-7 Тор, еще через 24 ч— 10-8 Тор, а еще через 24 ч — 10-9 Тор (без титановых насосов и вымораживания). При использовании титановых насосов и охлаждении жидким азотом давление 10-9 Тор получается после 24 ч откачки.