7.6.2. Создание вакуума в камере

Отражатели масляных диффузионных насосов (масло силикон 00705) охлаждаются фреоном до температуры 220 К; стенки камеры имеют ряд экранов (из теплопроводного металла), соединенных с резервуарами жидкого азота, имеющего температуру ~77 К. Центральная камера, в которой происходит плазменный дуговой разряд (между электродами Е1 и Е2), кроме того, откачивается с каждой стороны титановым сублимационным насосом в криогенном (азотном) цилиндре (скорость откачки 3000 л-с-1); эти насосы работают вместе с диффузионным насосом (отражатель которого охлаждается азотом), имеющим скорость откачки 2000 л•с-1.

Форвакуум обеспечивают два последовательно соединенных насоса типа Рутса со скоростью откачки 2000 м3•ч-1 и 350 м3•ч-1 и масляный ротационный насос со скоростью откачки 80 м3,ч-1. Объем всей вакуумной системы составляет ≈40 м3, ее поверхность 300 м2. Представляет интерес в этой установке работа сублимационных насосов. Титан осаждается из пара на криопанели, охлаждаемые жидким азотом, что обеспечивает коэффициент прилипания для азота и кислорода ≈0,9, для водорода ≈3,3, этому соответствует скорость сорбционной откачки 11 и 17 л•с-1•см-2. Следовательно, можно считать, что скорость откачки составляет по меньшей мере 10 л•с-1 на 1 см2 сорбирующей поверхности. Сорбционная емкость поверхности криопанелей (при наиболее благоприятных условиях, считая, что образуется несколько мономолекулярных слоев газа) составляет ≈(1—5) •1015 молекул на 1 см-2, чему соответствует количество газа (0,3-1,5)•10-4 Тор•л•см-2. Однако на практике наблюдается уменьшение скорости откачки по мере увеличения количества адсорбированного газа. С учетом этого на криопанели периодически осаждаются все новые слои титана; частота осаждения зависит от количества натекающего или же вводимого в систему газа.