7.4.1.1. Осаждение из пара

Установка для осаждения из паровой фазы (фиг. 7.7) состоит в принципе из съемного колпака (стеклянного или металлического, со смотровым окном), платформы и откачивающей системы

Колпак герметизируется с помощью уплотняющего кольца или пришлифованных поверхностей (в последнем случае поверхности смазываются). Под колпаком помещают источник пара (испаряемое вещество) и покрываемый объект. Передвижной экран служит для задержки первой (обычно загрязненной) порции паров. Испаряемое вещество помещается в металлический или керамический тигель, нагреваемый электрическим нагревателем (фиг. 7.8,а), или непосредственно на проволоку из тугоплавкого материала (фиг. 7.8,6). Часто на вольфрамовый стержень навиваются параллельно тонкая вольфрамовая проволока и проволока испаряемого металла, благодаря чему жидкий металл удерживается между витками (как в сублимационных насосах) и не стекает (фиг. 7,8,в). Нагревание можно также осуществить с помощью бомбардировки потоком электронов.

Откачивающая установка состоит из насоса, клапана и измерительного датчика.

Чем выше требования к чистоте проводимого процесса, тем ниже должно быть давление газов в пространстве осаждения паров и тем более старательно должны быть очищены внутренние поверхности колпака перед началом процесса.