6.1. Вакуумные устройства

Очевидно что вакуумная система должна быть герметичной, а поэтому она должна быть изготовлена из вакуумных материалов, т. е. из таких материалов, которые в вакууме выделяют минимальное количество газов или паров и легко поддаются обезгаживанию.

Кроме того, при больших размерах вакуумных сосудов возникает проблема их прочности под действием сил атмосферного давления, которые могут вызвать потерю устойчивости (вдавливание) стенок.

С точки зрения распределения давлении, возникающих во время работы, вакуумные системы можно разделить на статические и динамические.

Основным признаком статической системы является равномерное распределение давления в откачиваемом объеме и всей системе. Такое распределение давления цмеет место, когда установка хорошо откачана и обезгажена, а откачиваемый объем герметично закрыт.

В динамической системе одновременно происходят откачка и выделение газов внутри системы, а также проникновение их в систему через течи. В этом случае давление не является одинаковым во всех частях системы: оно тем больше, чем дальше от насоса находится соответствующая точка системы.

От выбора насосов и поперечных сечений трубопроводов при проектировании вакуумной системы в значительной степени зависит, будет она статической или динамической.

Вакуумные установки обычно выполняются из стекла или металла. Металлические установки часто имеют пластмассовые, стеклянные или керамические элементы. Вакуумная установка может быть предназначена для лабораторных или производственных целей. Производственная вакуумная установка используется для индивидуальной или массовой откачки вакуумных приборов (в последнем случае она обычно автоматизируется) или для ведения вакуумных технологических процессов.

Часто вакуумные установки оборудуют вспомогательными устройствами, такими, например, как печи для нагревания деталей (газовые, электрические), источники напряжения, газовые резервуары, течеискатели, холодильные агрегаты и т. п. Здесь не рассматриваются отражатели паров, охлаждаемые ловушки и другие элементы насосов, которые описаны вместе с насосами в гл. 4.