5.10.3. Обнаружение течей при помощи спектрометрической системы

Когда это давление станет достаточно низким (~10-4 Тор), срабатывает реле 13 и включается источник ионов масс-спектрометра. После этого наполняют резервуар в камере 5 жидким азотом и, убедившись, что измеряемое манометром 11 давление достаточно низко, открывают вентиль 8. Затем с помощью заслонки 14 регулируют скорость откачивания диффузионного насоса, чтобы давление в вакуумной камере 5 составляло 10-4—10-5 Тор. После включения масс-спектрометра в камеру, где находится исследуемый объект, впускают пробный газ (лучше всего гелий) и наблюдают за показаниями масс-спектрометра.

Описанная система позволяет обнаружить негерметичность со скоростью натекания от 10-12 до 10-1 Тор•л•с-1.

При проверке на герметичность вакуумной установки в сборе отверстие 6 закрывают, а установку присоединяют к вентилю 5 Кран 10 служит для заполнения установки воздухом. Обычно испытательная система в значительной степени автоматизирована (например, клапаны управляются электромагнитами и т. п.).

В табл. 5.9 сведены данные, касающиеся областей применения и чувствительности различных методов обнаружения течей.