Вакуумные шкафы проходного типа
Вакуумные сушильные шкафы проходного типа СНВСП предназначены для работ, требующих высокую степень очистки рабочей зоны от кислорода и влаги в составе перчаточных боксов.
Шкафы применяются в радиоэлектронной промышленности, для бережной сушки компонентов микроэлектроники. Для сушки в вакууме опасных и чувствительных к кислороду веществ, с последующей упаковкой в защитной среде.
Функционально, вакуумные сушильные шкафы отличаются от обычных серийных моделей наличием двух дверей - загрузки и выгрузки. Одна из дверей располагается внутри перчаточного бокса, в зоне с контролируемой атмосферой. Уплотнение производится переходным фланцем.
Переходные фланцы изготавливаются индивидуально, по техническому заданию заказчика и могут служить для соединения вакуумных шкафов с любыми (возможными технически) типами боксов.
Для удобной загрузки и выгрузки материала в ограниченном пространстве бокса, шкафы производства нашего предприятия оснащаются выдвижной полкой. Для обработки особо термочувствительных элементов, полка может комплектоваться дополнительным нагревателем для компенсации отбираемого тепла.
Как правило, вакуумные шкафы для перчаточных боксов устанавливаются в чистых помещениях. Поэтому, недопустимо применение некоторых, наиболее распространенных типов насосов. Такие шкафы комплектуются насосами сухого типа.
К наиболее распространенным насосам сухого типа относятся:
- Мембранные насосы.
- Винтовые насосы.
- Турбомолекулярные насосы.
Применение каждого из перечисленных типов насосов для вакуумных печей проходного типа определяется исходя из технологического процесса.
В некоторых случаях, для бережного удаления влаги из микропор садки, не допускается резкие изменения давления. Такие шкафы должны оснащаться системами контролируемого изменения давления.
При наличии в садке большого объема влаги, для ускорения процесса сушки рекомендуется установить вакуумную ловушку.
Система управления может встраиваться в имеющуюся систему перчаточного бокса.
Серийные модели вакуумные сушильные шкафы проходного типа для перчаточных боксов Российского производителя вакуумного термического оборудования, представлены в данном разделе. Мы можем спроектировать и изготовить оборудование в соответствии с техническим заданием.
Завод предоставляет гарантию и полную техническую поддержку оборудования на все время эксплуатации.