Электрические вакуумные вводы

Для питания электрическим током различных устройств, работающих внутри вакуумной камеры, необходимы герметичные электрические вводы, изолированные от корпуса вакуумной камеры. В зависимости от назначения электрические вводы могут быть низковольтными или высоковольтными, низковакуумными или высоковакуумными.
Принципиально любой электрический вакуумный ввод состоит из трёх частей (рис. 5.7): соответственно токоввода (1), изолятора (2), который электрически изолирует токоввод от корпуса вакуумной камеры (3).

Рис. 5.7. Принципиальная схема электрического вакуумного ввода:
1 — токоввод; 2 — изолятор; 3 — корпус

В стеклянных и металлокерамических приборах роль изолятора и корпуса совпадает.
Промышленностью выпускается широкий спектр электрических вакуумных вводов, которые отличаются по материалам изоляторов количеству и конструкции вводов. 
На рис. 5.8 представлена конструкция наиболее часто применяемых в нашей лаборатории электрических металлокерамических вакуумных вводов, предназначенных для использования в сверхвысоковакуумных системах.

Рис. 5.8. Конструкция электрического вакуумного ввода:
1 — стержень из нержавеющей стали; 2,4 — втулки из ковара;
3 — керамический изолятор

Рабочее напряжение такого ввода непосредственно зависит от диаметра и высоты керамического изолятора. Высоковольтный ввод (рис. 5.8) приваривается к основанию нижней втулкой (4). Керамический изолятор (3) соединяется со втулками (2) и (4) твёрдыми припоями. Стержень (1) приваривается к втулке (2) аргонодуговой или лазерной сваркой. Следует заметить, что высоковольтные вводы обладают малыми электрическими утечками, поэтому иногда могут использоваться в измерительных цепях.