Предисловие
Разработка новых технологических процессов, обеспечивающих техническое перевооружение основных отраслей производства, тесно связана с вакуумной техникой.
Новые типы полупроводниковых структур, особо чистые материалы, сплавы, специальные покрытия изготавливаются в вакууме. Вакуум является идеально чистой технологической средой, в которой можно осуществить электрохимические и электрофизические процессы при изготовлении изделий микроэлектроники.Настоящий учебник охватывает все основные разделы вакуумной техники. Во втором издании учебника существенно переработаны главы по физике вакуума, сорбционным явлениям к физическим процессам в вакууме. Особое внимание уделено улучшению описания закономерностей процессов, происходящих при различных степенях вакуума. Выделение специальной главы, посвященной физико-химическим методам получения вакуума, соответствует все расширяющейся практике их применения. Расчет нестационарных процессов в вакуумных системах, выделенный 9 данном издании в отдельную главу, рассмотрен более подробно. Значительная часть объема учебника посвящена изучению методов проектирования вакуумных систем. Оптимизация при проектировании по экономическому критерию делает ни удойными для автоматизированного проектировании на ЭВМ.
Каждая глава учебника заканчивается контрольными вопросами, которые могут быть использованы для контрольных мероприятий при аудиторном изучении курса или для самопроверки. В учебнике имеются подробные примеры решения типовых задач.
Курс «Вакуумная техника» изучается студентами а рамках специальной технологической и конструкторской подготовки. Разделы физики вакуума сорбционных явлений, физических процессов в вакууме, получения и измерения вакуума можно отнести к технологической, а расчет и проектирование вакуумных систем при стационарном и нестационарном режимах работы, а также конструировал не вакуумных систем — к конструкторской подготовке. Учебник написан на основе курса лекций, которые читаются автором в Ленинградском политехническом институте им. М. И. Калинина. Автор выражает благодарность д-ру техн. наук, профессору Л. И. Волчкевичу и канд. техн. наук, доц. Е. А. Деулину за ценные замечания, высказанные в процессе рецензирования рукописи, а также сотрудникам кафедры «Автоматы» ЛПИ им. М, И, Калинина М. М. Донской и М. И. Гореловой за помощь в работе над рукописью. Пожелания и замечания по книге можно направлять по адресу: 101430, Москва ГСП-4, Неглинная ул. 29/14, издательство «Высшая школа».
Автор