Оглавление
Предисловие Введение
Следующая- 1.1.1. Понятие о вакууме и давлении
- 1.1.2. Условия равновесия
- 1.2. Газовые законы
- 1.3. Частота соударений молекул газа с поверхностью и единицы давления
- 1.4.1. Распределение молекул газа по скоростям
- 1.4.2. Вывод функции распределения
- 1.5. Атмосферное давление
- 1.6. Средняя длина свободного пути
- 1.7. Понятие о степенях вакуума
Глава 2. Сорбционные явления в вакууме
- 2.1.1. Энергия взаимодействия
- 2.1.2. Энергия взаимодействия при химическом воздействии
- 2.1.3. Энергия взаимодействия при хемосорбции
- 2.2. Время адсорбции
- 2.3.1. Конденсация и испарение
- 2.3.2. Динамическое равновесие процессов конденсации и испарения
- 2.4.1. Адсорбция газов и паров
- 2.4.2. Вывод уравнения БЭТ
- 2.5. Растворимость газов в твердых телах
- 2.6. Степени покрытия поверхности
- 3.1.1. Вязкость газов
- 3.1.2. Зависимость коэффициента вязкости
- 3.2.1. Перенос теплоты в вакууме
- 3.2.2. Теплопередача излучением
- 3.3.1. Электрические явления в вакууме
- 3.3.2. Электропроводность газового промежутка
- 3.4.1. Диффузия в газах
- 3.4.2. Самодиффузия
- 3.5.1. Режимы течения газов
- 3.5.2. Инерционный и вязкостный режимы течения
- 3.6. Расчет характеристик течения газа методами механики сплошной среды
- 3.7.1. Течение газов через отверстия
- 3.7.2. Расчет проводимости методом последовательных приближений
- 3.8.1. Течение газов в трубопроводах
- 3.8.2. Поток газа
- 3.9.1. Расчет молекулярных потоков методом угловых коэффициентов
- 3.9.2. Расчет коэффициента захвата откачного устройства
- 3.10.1. Имитационное моделирование молекулярных потоков
- 3.10.2. Координаты точки входа
- 3.10.3. Вероятностная модель
- 4.1.1. Общая характеристика вакуумных насосов
- 4.1.2. Связь между основными характеристиками
- 4.2. Механические вакуумные насосы
- 4.3.1. Объемная откачка
- 4.3.2. Предельное давление и потребляемая мощность
- 4.4.1. Конструкция объемных насосов
- 4.4.2. Пластинчато-роторный насос
- 4.4.3. Ротационные насосы с катящимся ротором
- 4.4.4. Характеристики ротационных вакуумных насосов
- 4.4.5. Ротационные вакуумные насосы с обкатываемыми профилями
- 4.4.6. Двухроторные насосы
- 4.4.7. Механические ловушки
- 4.4.8. Ионная ловушка и газобалластное устройство
- 4.5.1. Молекулярная откачка
- 4.5.2. Вторая схема молекулярной откачки
- 4.6.1. Конструкция молекулярных насосов
- 4.6.2. Турбомолекулярный насос
- 4.7.1. Пароструйная откачка
- 4.7.2. Быстрота действия насоса
- 4.7.3. Максимальные выпускное и остаточное давления
- 4.7.4. Коэффициент компрессии и предельного давления
- 4.7.5. Диффузионный насос
- 4.8.1. Конструкции пароструйных насосов
- 4.8.2. Рабочие жидкости пароструйных насосов
- 4.8.3. Фракционирующие устройства
- 4.8.4. Конденсирующие и диссоциирующие ловушки
- 4.8.5. Сорбционные ловушки
- 5.1. Общая характеристика
- 5.2. Ионная откачка
- 5.3.1. Хемосорбционная откачка
- 5.3.2. Конденсация молекул
- 5.4. Конструкции испарительных насосов
- 5.5. Криоконденсационная откачка
- 5.6.1. Криоадсорбционная откачка
- 5.6.2. Быстрота адсорбционной откачки
- 5.6.3. Режимы работы насосов
- 5.7.1. Конструкции криогенных насосов
- 5.7.2. Криоконденсационные насосы испарительного типа
- 5.8. Ионно-сорбционная откачка
- 5.9.1. Конструкции ионно-сорбционных насосов
- 5.9.2. Недостатки ионно-сорбционных насосов
- 5.9.3. Особенности работы магниторазрядных насосов
- 6.1. Классификация методов и приборов для измерения общих давлений
- 6.2.1. Деформационные преобразователи
- 6.2.2. Мембранный преобразователь
- 6.3.1. Гидростатические преобразователи
- 6.3.2. Метод квадратичной шкалы
- 6.4.1. Тепловые преобразователи
- 6.4.2. Методы работы тепловых манометров
- 6.4.3. Термопарные преобразователи и преобразователи сопротивления
- 6.5.1. Электронные преобразователи
- 6.5.2. Конструкция электронного преобразователя
- 6.5.3. Чувствительность электронных преобразователей
- 6.6.1. Магнитные преобразователи
- 6.6.2. Характеристики магнитных преобразователей
- 6.6.3. Преимущества и недостатки магнитных преобразователей
- 6.7. Радиоизотопные преобразователи
- 6.8.1. Градуировка преобразователей для измерения общих давлений
- 6.8.2. Метод деления потока
- 7.1.1. Методы измерения
- 7.1.2. Чувствительность ионизационных газоанализаторов
- 7.2.1. Магнитный газоанализатор
- 7.2.2. Разрешающая способность масс-спектрометра
- 7.3. Панорамный газоанализатор
- 7.4. Циклотронный газоанализатор (омегатрон)
- 7.5.1. Времяпролетные газоанализаторы
- 7.5.2. Хронотрон
- 7.6. Электрические фильтры масс
- 7.7. Градуировка ионизационных газоанализаторов
- 7.8. Термодесорбционный масс-спектрометр
- 7.9. Оже-спектрометр
- 8.1.1. Методы измерения газовых потоков
- 8.1.2. Метод двух манометров
- 8.1.3. Метод постоянного объема
- 8.1.4. Косвенные методы определения газовых потоков
- 8.2.1. Методы течеискания
- 8.2.2. Использование ионизационного манометра
- 8.2.3. Инерционность метода пробных газов
- 8.2.4. Другие методы обнаружения течей
- 8.3.1. Требования к герметичности вакуумных систем
- 8.3.2. Примеры определения требований к герметичности
- 8.4. Аппаратура для определения герметичности
- 9.1. Распределение давления в вакуумной системе
- 9.2.1. Соединения арматуры и откачиваемых объектов
- 9.2.2. Расчет сложных вакуумных систем методами механики сплошной среды
- 9.3.1. Соединения насосов
- 9.3.2. Система последовательно соединенных насосов
- 9.3.3. Параметры запуска системы
- 9.4.1. Расчет газовых нагрузок
- 9.4.2. Диффузионное газовыделение
- 9.5. Выбор коэффициента использования насоса при стационарном режиме работы
- 9.6.1. Типовые схемы вакуумных установок
- 9.6.2. Вакуумная система для получения низкого и среднего вакуума
- 9.6.3. Вакуумная система для получения низкого, среднего и высокого вакуума
- 9.6.4. Вакуумная система для получения сверхвысокого
- 9.6.5. Системы защиты
- 9.7.1. Проверочный расчет вакуумной системы в стационарном режиме работы
- 9.7.2. Общее газовыделение и давление вакуумной системы
- 9.8. Пример проверочного расчета вакуумной системы в стационарном режиме работы
- 9.9.1. Проектировочный расчет вакуумной системы в стационарном режиме работы
- 9.9.2. Выбор схемы вакуумной установки
- 9.9.3. Выбор ловушек, клапанов, затворов
- 9.10.1.Пример проектировочного расчета вакуумной системы в стационарном режиме работы
- 9.10.2.Выбор вакуумных насосов
- 9.10.3.Конструктивные размеры сверхвысоковакуумной системы
- 9.10.4.Конструктивные размеры высоковакуумной системы
- 9.10.5.Конструктивные размеры низковакуумной системы
- 9.11. Расчет централизованных вакуумных систем
- 10.1. Условия квазистационарности
- 10.2.1. Расчет газовых нагрузок
- 10.2.2. Диффузионное газовыделение
- 10.2.3. Эффективность массообмена
- 10.2.4. Газопроницаемость и поток натекания
- 10.3.1. Расчет времени откачки сосредоточенных объектов
- 10.3.2. Расчета времени откачки вакуумной системы, содержащей двухкомпонентную смесь
- 10.4. Расчет времени откачки распределенных вакуумных объектов
- 10.5. Расчет форвакуумных баллонов
- 10.6. Методика проверочного расчета
- 10.7. Методика проектировочного расчета
- 11.1.1. Конструкционные вакуумные материалы
- 11.1.2. Газопроницаемость материала в рабочих условиях
- 11.1.3. Применение латуни, меди, чугуна
- 11.1.4. Применение алюминия, стекла, керамики
- 11.1.5. Применение пластмасс, резины
- 11.2.1. Вакуумно-герметичная пайка
- 11.2.2. Формы стыковых и угловых паяных соединений
- 11.2.3. Типы спаев
- 11.3.1. Сварные герметичные соединения
- 11.3.2. Требования к вакуумно-герметичной сварке и технологии обработки деталей
- 11.4.1. Разборные вакуумные соединения
- 11.4.2. Контактные напряжения
- 11.4.3. Требования к разборным вакуумным соединениям
- 11.4.4. Особенности конструкций разборных соединений
- 11.4.5. Типы металлических соединений
- 11.5. Вакуумные трубопроводы
- 11.6.1. Устройства для передачи движения в вакуум
- 11.6.2. Типы вводов
- 11.6.3. Конструкция вводов
- 11.6.4. Характеристики вводов
- 11.7. Электрические вакуумные вводы
- 11.8.1. Вакуумные затворы
- 11.8.2. Усиление герметизации
- 11.8.3. Электромагнитный привод вакуумного затвора
- 11.8.4. Расчет углового вакуумного клапана
© 2008 - 2024 «Тула-Терм»
