§ 9.7.1. Проверочный расчет вакуумной системы в стационарном режиме работы

Задачей проверочного расчета является определение распределения давления в известной вакуумной системе. Проверочный расчет осуществляется для определения характеристик существующих вакуумных систем или уточнения проектировочных расчетов. Исходными данными являются: 1) вакуумная схема; 2) спецификация элементов вакуумной системы и их характеристики (в том числе откачиваемых объектов); 3) спецификации материалов, используемых в вакуумной системе, и их удельные газовыделения; 4) минимальный поток Q_TH, регистрируемый течеискателем; 5) число проверяемых соединений т; 6) технологическое газовыделение Q_m.

Собственное газовыделение вакуумной системы складывается из газопроницаемости и диффузионного газовыделения конструкционных материалов Q_п, Q_Д, а также натекания Q_H через оболочку вакуумной системы. Оно определяет предельное давление, которое может быть получено в вакуумной установке.

Газопроницаемость определяют по (9.51) и табл. 9.1, а диффузионное газовыделение — по (9.52) и табл. 9.2.

Для определения возможного натекания в вакуумную систему Q_H воспользуемся формулой (9.53), в которой К_В — вероятность существования течи, меньшей чувствительности течеискателя; ее можно выбрать равной 0,2, а число испытаний на герметичность т равно числу разборных и неразборных соединений. Минимальный поток Q_ти, регистрируемый течеискателем, определяется типом течеискателя (табл. 9.2). При расчете следует определить отдельно собственное газоотделение системы и откачиваемого объекта. Если собственное газовыделение системы составляет не более 20% от тех же значений для откачиваемого объекта, то их можно просуммировать, считая, что весь газ выделяется в откачиваемом объекте. В этом случае расчет распределения давления по длине вакуумной системы будет выполняться с запасом и можно рассматривать более простой случай вакуумной системы с сосредоточенными параметрами.