§ 9.6.4. Вакуумная система для получения сверхвысокого

Вакуумная система для получения сверхвысокого вакуума (рис. 9.23) содержит прогреваемый вакуумный блок 7. Прогрев до 400°С уменьшает газовыделение всех элементов вакуумной системы, непосредственно подключаемых к сорбционному насосу 4. Состав остаточных газов сверхвысоковакуумных систем показан на рис. 9.24. Основные характеристики сверхвысоковакуумных насосов приведены в табл. 9.10.

В тех случаях, когда требуется повышенная надежность системы по предотвращению попадания паров рабочей жидкости в вакуумную камеру, в качестве предварительной системы откачки используются агрегаты с криоадсорбционными насосами.

Оптимальные значения коэффициентов использования сверхвысоковакуумных насосов в зависимости от их быстроты действия в откачиваемом объекте и числа элементов в схеме между насосом и откачиваемым объектом приведены на рис. 9.25.

Централизованными системами откачки называют вакуумные системы, в которых выпускное давление для нескольких включенных параллельно высоковакуумных насосов обеспечивается работой одного насоса предварительного разрежения. Они применяются в помещениях с большим количеством однородного вакуумного оборудования, в автоматах откачки и т. д.

Трехтрубопроводная централизованная система откачки показана на рис. 9.26. Вакуумные камеры V₁,...,V_n откачиваются высоковакуумными насосами П₁,...,П_n через автоматические клапаны К1,-.,Кn- Присоединение высоковакуумных насосов к трубопроводу /// предварительного разрежения производится автоматическими клапанами B₁.....В_n. Трубопроводы I и II служат для предварительной откачки воздуха из вакуумных установок.  

С помощью трубопровода / давление понижается от атмосферного до 10² Па, а с помощью // — от 10² до 5 Па.

Каждый трубопровод откачивается одним механическим насосом. Трубопроводы // и /// имеют двухроторные насосы. Резервный агрегат может быть подключен к любому из трех трубопроводов.

Включение и работа централизованной вакуумной системы для откачки вакуумной камеры Vi осуществляются в следующем порядке:

1) откачка в течение 2...3 мин от атмосферного давления через трубопровод /, затвор D₁ открыт, С₁, К₁ и Е₁ закрыты, клапан В₁ открыт, высоковакуумные насосы П₁ приготавливаются к работе;

2) с помощью реле времени производится переключение с трубопроводов / на //, при этом затвор D₁ закрывается, затвор С₁ открывается, откачка ведется до давления ~5 Па;

  3) манометрический преобразователь М11, например типа МТ-6, в схеме блокировочного вакуумметра при давлении ~5 Па подключает к установке паромасляный насос П₁, при этом затворы В₁ и С₁ закрываются, затворы Е₁ и K₁ открываются;

4) после того как в объеме получено рабочее давление, паромасляные насосы в помощью манометра M12 переключаются на трубопровод ///, при этом затвор E₁ закрывается, а В₁ открывается.