§ 9.6.3. Вакуумная система для получения низкого, среднего и высокого вакуума

Вакуумная система для получения низкого, среднего и высокого вакуума (рис. 9.20) содержит все элементы предыдущей схемы и дополнительный высоковакуумный насос 7 (табл. 9.9). В качестве высоковакуумного насоса могут применяться пароструйные, турбомолекулярные и гетероионные. Состав остаточных газов пароструйного и турбомолекулярного насосов показан на рис. 9.21. Ловушка 8 (рис. 9.20) предотвращает проникновение паров рабочей жидкости пароструйных насосов в вакуумную камеру. Для турбомолекулярных и гетероионных насосов ловушка 8 не устанавливается. Клапан 21 коммутирует насос с вакуумной камерой. Манометр 22 позволяет контролировать эффективность работы насоса 7 и ловушки 8 при закрытом клапане 21. Манометры 12 и 13 измеряют давление в вакуумной камере соответственно в области среднего и высокого вакуума. Для обеспечения в вакуумной камере высокого вакуума все насосы включаются последовательно. Если в камере необходимо получить средний вакуум, то насос 26 подключается через клапан 19 к откачиваемому объекту. При этом клапан 24 может быть закрыт. Аналогично, через клапаны 20 и 5 низковакуумный насос непосредственно подключается к откачиваемому объекту или к насосу 26. При работе системы в режиме высоковакуумной откачки газовые потоки очень малы. Это позволяет отключить насос / на длительное время и работать на форвакуумный баллон 4. Схему можно упростить за счет сокращения коммутационной аппаратуры 5, 19, 20, 21, 24, однако это значительно снизит производительность работы системы в нестационарных режимах.  

Если система предназначена для работы только в области высокого вакуума, то насос 26 с манометром 23 и клапанами 19 и 24 из схемы можно исключить. В этом случае увеличится время откачки вакуумной камеры до рабочего давления. Рекомендации по выбору оптимальных коэффициентов использования высоковакуумных насосов приведены на рис. 9.22.