§ 9.6.2. Вакуумная система для получения низкого и среднего вакуума

Вакуумная система для получения низкого и среднего вакуума (рис. 9.18) имеет два вакуумных насоса. Насос 7 обеспечивает получение среднего вакуума, а насос / создает предварительное разрежение. В качестве насоса для получения среднего вакуума могут применяться двухроторные, пароэжекторные и адсорбционные насосы (табл. 9.8). Насос 1 должен обеспечивать получение низкого вакуума. Быстрота действия и предельное давление насоса предварительного разрежения должны быть согласованы с характеристиками насоса для получения среднего вакуума. Оптимальные значения коэффициентов использования двухроторных насосов в зависимости от эффективной быстроты откачки и числа последовательно соединенных элементов приведены на рис. 9.19.  

При остановке насоса 1 (рис. 9.18), закрывая клапан 2 и открывая клапан 3, можно выровнять давление на его входном и выходном патрубках. Манометр 4 необходим для проверки работоспособности насоса 1. Отражатель 5 предотвращает проникновение паров рабочей жидкости насоса 1 в насос 7 и вакуумную камеру 11. Клапаны 6, 18, 19 позволяют работать в режимах «прямой» и «обходной» откачки, соответствующих прохождению откачиваемого газа через оба насоса или через один насос предварительного разрежения. В последнем случае в откачиваемом объекте обеспечивается получение низкого вакуума.

Манометр 20 позволяет определить эффективность работы отражателя 5, а манометр 8 при закрытом клапане 18 контролирует предельное давление насоса 7.

Вакуумная камера снабжена электрическими 9 и механическими 10 вводами, манометром 12, газоанализатором 13, клапаном 14 для подключения течеискателя и клапанов 15, 17 с гигроскопатором 16 для напуска воздуха в вакуумную камеру. Гигроскопатор 16 предотвращает попадание в вакуумную камеру паров воды, содержащихся в атмосферном воздухе, что существенно сокращает время откачки вакуумной камеры до рабочего давления.