§ 9.4.2. Диффузионное газовыделение

Диффузионное газовыделение имеет нестационарную природу, но для большинства газов и материалов постоянная времени этих процессов настолько велика, что они могут рассматриваться как стационарные. Упрощенный метод определения диффузионного газовыделения основан на применении экспериментально определенных значений коэффициентов удельного диффузионного газовыделения (табл. 9.2), зависящих от рода газа, материала и его предварительной обработки, а также рабочей температуры. Газовый диффузионный поток

где F_i — площадь i-гo материала, присутствующего в вакуумной системе; N— число материалов; q_cp — среднее удельное диффузионное газовыделение материалов вакуумной системы:

Натекание через оболочку вакуумной камеры происходит в основном по разборным и неразборным соединениям, которые принципиально не могут обеспечить абсолютную герметичность. Натекание может происходить и по дефектам в структуре сплошного материала. Поэтому возможное натекание в вакуумную установку можно оценить по формуле

где Q_ти — минимальный поток, регистрируемый течеискателем (табл. 9.3); К_в — вероятность существования течи, меньшей чувствительности течеискателя; N — число соединений; т — число одновременно проверяемых соединений.

Резервом уменьшения Q_H при расчете по формуле (9.53) является уменьшение числа испытаний на герметичность. Предельным случаем является одно испытание, когда m=N, и проверяется негерметичность всей установки. При работе с гелиевым течеискателем такая проверка производится размещением всей установки в атмосфере гелия с помощью полиэтиленовых колпаков или других вспомогательных средств, зависящих от размеров установки.

Технологическое газовыделение зависит от типа обрабатываемого объекта и способа осуществления технологического процесса. В проектировочных расчетах его значение принимается постоянным в течение всего времени стационарного режима t₂.

Для проектировочного расчета стационарный газовый поток выбирается по аналогии со сходными по назначению вакуумными установками. После окончания проектировочного расчета и разработки конструкции вакуумной установки производят проверочный расчет, уточняя стационарный газовый поток.