§ 9.3.3. Параметры запуска системы
Из рис. 9.7 легко определить возможность запуска системы. Условием запуска системы можно считать отсутствие двойного пересечения кривых SQ и SЭф1 в промежутке рабочих давлений. Для SQ' запуск системы невозможен.
В установках с переменным газовыделением и натеканием представляет интерес нахождение области совместной работы двух последовательно соединенных насосов на кривой Q=f(p).
Нахождение области совместной работы насосов удобно делать графически (рис. 9.8). Считаем, что выполняется условие сплошности потока Q1 = Q2, где Q1 —производительность откачки первого насоса в вакуумной камере; Q2— производительность откачки второго насоса в сечении выхлопного патрубка первого насоса.Значения Q1 и Q2 в функции давления можно рассчитать, воспользовавшись кривыми эффективной быстроты откачки насосов Sэф1 и Sэф2 (см. рис. 9.7), по формулам Q1= Sэф1p; Q2=Sэф2p.
Если при максимальной производительности предыдущего насоса последующий обеспечивает на его выхлопном патрубке давление, меньшее, максимального выпускного давления предыдущего насоса, то они всегда работают совместно.
Давление р2, соответствующее максимальной производительности системы, находятся из уравнения (Q1)max = Q2(P2), которое удобно решить графически, проводя на рис. 9.8 прямую, параллельную оси р (показана стрелкой), от максимума кривой Q1(p) до пересечения с кривой Q2(р). Точка пересечения с Q2(р) определяет значение р2.
Если суммарный поток превысит Qmax, то в вакуумной камере произойдет скачкообразное повышение давления от рмах до рм1 Отношение pм1/pmax может составлять несколько порядков.