§ 9.10.1. Пример проектировочного расчета вакуумной системы в стационарном режиме работы

Выберем для проектировочного расчета вакуумную систему установки, обеспечивающую возможность получения сверхвысокого вакуума.

Исходные данные: 1) суммарная производительность газовыделения и натекания Q = 4-10^-6 м³-Па/с; 2) рабочее давление в вакуумной камере р=10^-5 Па; 3) время работы системы в стационарном режиме t_с = 3600 с; 4) размеры откачиваемого объекта: d=500, l=1000 мм; 5) дополнительные условия — использование магниторазрядного, пароструйного и вращательного насосов.

2. Выбор вакуумных насосов.

а. Выбор сверхвысоковакуумного насоса. В соответствии с дополнительным условием для сверхвысоковакуумной откачки выбираем магниторазрядные насосы серии НМД с предельным давлением p_пр3=7-10^-8 Па и диапазоном быстрот действия от 6-10^-3до 1,2 м³/с.

Эффективную быстроту откачки в откачиваемом объекте определяем по (9.64):

Найдем коэффициент использования магниторазрядного насоса. Пользуясь методикой, изложенной в § 9.5, или рис. 9.25, при n = 3 находим для S_эф=10^-1 м³/с оптимальное значение коэффициента использования К_и1= 0,35.

Воспользуемся формулой (9.65) для нахождения номинальной быстроты действия:

Ближайший по быстроте действия магниторазрядный насос НМДО-1 имеет следующие характеристики:

Зависимость быстроты действия насоса НМДО-1 от давления на входе в насос приведена на рис. 9.30.