§ 8.3.1. Требования к герметичности вакуумных систем

Требования к герметичности вакуумных систем формулируются с учетом условий их дальнейшей эксплуатации. В техническом задании на разработку вакуумной системы, работающей под непрерывной откачкой, задается рабочее давление р_раб, при котором должен осуществляться технологический процесс. Для обеспечения эффективного использования откачных средств необходимо обеспечить предельное давление

Предположим, что вакуумная система хорошо обезгажена и газовыделением можно пренебречь по сравнению с натеканием, тогда допустимый газовый поток, поступающий через все течи, имеющиеся в вакуумной установке,

где S_o — быстрота откачки объекта. Если технические требования связаны с поддержанием не общего, а парциального давления р_п какого-то компонента смеси, содержание которого равно у, то

В вакуумных системах объемом V, работающих в течение времени Δt без непрерывной откачки, для допустимого возрастания давления Δр газовый поток

Если требования ставятся по парциальным давлениям, то аналогично (8.15) получим

При совпадении условий испытаний на герметичность с рабочими условиями уравнения (8.15)...(8.18) определяют требования к пороговой чувствительности испытаний. Если же контроль герметичности проводится с помощью пробного газа или при другой температуре и перепаде давлений, то требования к пороговой чувствительности необходимо уточнить по уравнению (8.12).

Требования к герметичности сборочных единиц и деталей зависят от требований к герметичности установки в целом. При индивидуальной проверке герметичности элементов в процессе изготовления, считая маловероятным одновременное наличие в собранной установке более двух одинаковых течей, можно принять