§ 8.2.1. Методы течеискания

При изготовлении вакуумных систем из-за пор или трещин в материалах возможно появление течей. Из-за малых размеров дефектов, вызывающих течи, визуально обнаружить их практически невозможно. Для определения места течей разработаны следующие методы течеискания: а) пробного газа; б) высокочастотного разряда; в) люминесцентный; г) радиоизотопный; д) пузырьковый.  

  Для предотвращения повышения давления проверяемый объект должен находиться под непрерывной откачкой. Схема испытания показана на рис. 8.7. Источник пробного газа 1 осуществляет локальный обдув внешней поверхности испытуемого объекта 4.  

В вакуумируемом объекте с негерметичной оболочкой разность показаний вакуумметра при изменении давления воздуха и пробного газа

где Q_B И Q_n — потоки воздуха и пробного газа; S_B и S_n — эффективные быстроты откачки насоса в вакуумируемом объекте по воздуху и пробному газу; К_в и К_П — чувствительность измерителя давления по воздуху и пробному газу; R — относительная чувствительность измерителя давления к пробному газу.

Для получения максимального сигнала необходимо так выбирать пробный газ, чтобы произведение R(Q_B/Q_n)(S_B/ S_n) максимально возможно отличалось от единицы.

Отношение потока пробного газа Q_n к потоку воздуха Q_B можно записать в следующем виде:

где U_B и U_n — проводимость течи по воздуху и пробному газу; Δр_в и Δр_п —перепад давления при испытаниях по воздуху и пробному газу. При молекулярном режиме течения газа отношение (8.12) можно преобразовать к виду  

где Т_в и Т_п — температуры воздуха и пробного газа; М_в и М_а — молекулярные массы воздуха и пробного газа.