§ 8.1.3. Метод постоянного объема

Для определения газового потока методом постоянного объема можно использовать схему на рис. 8.3, а.  

В этом случае насос 1 и клапан 2 используются в качестве вспомогательной вакуумной системы для получения вакуума в объеме 3. В процессе измерения клапан 2 закрывается. Газ из баллона 6 через натекатель 4, поступающий в объем 3, вызывает увеличение давления р. Если поток газа постоянен, то происходит линейное повышение давления (кривая 2 на рис. 8.3, б). По скорости повышения давления определяют газовый поток:  

В момент прекращения откачки вакуумной камеры (t=0) в ней возникает газовыделение адсорбированных газов, приводящее к нелинейному повышению давления (кривая 3 на рис. 8.3, б). Суммарное изменение давления происходит согласно кривой 1 (рис. 8.3, б). Для надежного измерения потока методом постоянного объема газовыделение должно быть мало по сравнению с измеряемым газовым потоком. Этого можно достичь длительной предварительной откачкой вакуумной камеры.

Метод постоянного объема можно использовать для определения производительности и быстроты действия вакуумных насосов. Насос 1 (рис. 8.4) непосредственно подключается к откачиваемому объекту 2. По кривой откачки (рис. 8.5, а) определяется в каждый момент времени t_i значение р_i и по tgφ— значение (dp/dt)i

Если выполняется условие V>>S_И, то производительность насоса в каждый момент времени можно рассчитать по формуле (8.9). Быстрота откачки насоса

(рис. 8.5, б).