§ 8.1.1. Методы измерения газовых потоков
Газовый поток — это масса газа, проходящая в единицу времени через заданное поперечное сечение элемента вакуумной системы. В Международной системе единицей газового потока является кг/с. Потоки индивидуальных веществ можно измерять также количеством молекул газа, проходящих через заданное сечение элемента вакуумной системы в единицу времени.
При постоянной температуре газа часто используют внесистемную единицу газового потока м3-Па/с. Для воздуха при Т0=273 К 1м3-Па = 1,3-10-5 кг. Стационарный поток газа, выраженный в м3-Па/с, можно записать в виде
где U — проводимость вакуумной системы. Уравнение (8.1) может быть использовано для измерения стационарных газовых потоков методом двух манометров по перепаду давления на вакуумном элементе известной проводимости.
Другое выражение для определения как стационарных, так и нестационарных газовых потоков можно записать в дифференциальной форме:
В соответствии с уравнением (8.2) для измерения газовых потоков используют два метода: постоянного давления и постоянного объема. При p=const поток газа Q = Vdp/dt, а его измерение осуществляется по скорости изменения давления в камере постоянного объема. При V=const поток газа Q=Vdp/dt, а его измерение осуществляется по скорости изменения объема газа при постоянном давлении.
Описанные методы считаются абсолютными. Косвенные методы— тепловые, радиоизотопные, ионизационные — нуждаются в градуировке по абсолютным катодам.
© 2008 - 2025 «Тула-Терм»
