§ 7.2.2. Разрешающая способность масс-спектрометра
Разрешающая способность масс-спектрометра зависит от размеров прибора и расширения ионного пучка:
где S1 и S2 — ширина щелей на выходе из источника ионов и перед коллектором ионов соответственно; σ(R)—суммарное расширение ионного пучка в плоскости щели s2 в результате аберраций. Аберрации являются следствием разброса ионов одинаковой массы по скоростям, неоднородности в распределении магнитного поля по высоте ионного пучка, влияния пространственного заряда и т. д. При диапазоне массовых чисел от 2 до 150 разрешающая способность на половине высоты пика рм≥50.
Чувствительность масс-спектрометра возрастает при увеличении ширины щелей, которую обычно выбирают от 0,1 до 1 мм. Для стандартных приборов коэффициент чувствительности Ки при откачке азота составляет 10 мА/Па. Относительная чувствительность магнитных анализаторов C, = KШ/KИN2 зависит от рода газа (табл. 7.1). Верхний предел рабочих давлений 10-2 Па определяйся постоянством коэффициента чувствительности, нижний 10-8 Па — фоновыми токами. Порог чувствительности равен 10-3% и зависит от уровня шумов электрометрического усилителя или Умножителя и фонового масс-спектра прибора.
Простота и надежность магнитных анализаторов позволяет применять их в системах контроля и управления вакуумными технологическими процессами. Технологические характеристики прибора МСД-1, специально разработанного для управления технологическими процессами от ЭВМ, даны в табл. П. 12.
© 2008 - 2025 «Тула-Терм»
