§ 6.8.2. Метод деления потока

Метод деления потока состоит в том, что в динамической вакуумной системе поток газа, проходящий через последовательно соединенные ячейки (первая из которых показана на рис. 6.13), постепенно уменьшается за счет работы вспомогательных вакуумных насосов. Уравнение потоков для такой ячейки

где Q = U_i(p₀—p_i) —поток газа, поступающий в ячейку через трубопровод с проводимостью U₁ при разности давлений на его концах р_о и р_й Q₁=S_ip_i — поток газа, откачиваемый вспомогательным насосом, подключенным к ячейке и имеющим эффективную быстроту откачки S_i; Q₂ = f/2(p_i—p₂) —поток газа, удаляемый из ячейки через трубопровод с проводимостью U₂ при разности давлений на его концах р₁ и р₂.

С учетом выражений для Q, Q: и Q₂ уравнение (6.14) можно представить в виде

откуда

Если конструктивно обеспечить, чтобы S₁>>U₁+ U₂, a U₁p_o>>U₂P₂, то

p_o>>p₁>>p₂ и выражение (6.15) можно упростить: В ряду последовательно соединенных ячеек давление постепенно снижается от ячейки к ячейке и для n-й ячейки может быть определено по формуле

, причем давление Ро можно измерить компрессионным манометром. Недостатком этого метода является то, что для его реализации нужны насосы с очень низким предельным давлением и большой быстротой действия, так как для получения стабильного значения S_i, где i=l, 2.....п, насос подключается к камере через диафрагму и соблюдается условие S_n>>S,.

При градуировке по методу деления потока ошибками, связанными с натеканием и сорбционными процессами, можно пренебречь до тех пор, пока газовый поток в градуировочной камере не будет существенно превышать суммарное натекание и газовыделение. Использование насосов с большой быстротой откачки позволяет осуществить градуировку манометрических преобразователей с погрешностью 4...5% до самых низких давлений.