§ 6.2.1. Деформационные преобразователи
К деформационным преобразователям относятся трубчатые и мембранные преобразователи.
Трубка Бурдона (рис. 6.2)—деформационный манометр в виде спиральной трубки 2, скручивающейся под действием атмосферного давления в случае откачки внутренней полости за счет разных радиусов кривизны, а следовательно, и площадей наружной и внутренней поверхностей трубки.
Подсчитаем силы F1 и F2, действующие соответственно на поверхности с большим и меньшим радиусами:где ратм — атмосферное давление; р — давление в трубке; А1 и A2 — площади наружной и внутренней поверхностей участка спиральной трубки.
Измерительное уравнение связывает между собой перемещение конца трубки х и разность давлений ратм—р соотношением
где с — жесткость трубки.
Манометр измеряет давления в пределах 105... 103 Па. Измерение давлений ниже 103 Па затруднено тем, что трубка при малой жесткости должна быть достаточно прочной, чтобы выдержать атмосферное давление. Погрешность измерения равна 5% и ограничена упругим последействием трубки — медленным возвращением трубки в исходное положение после упругой деформации.
К вакуумной системе манометр подключается через штуцер 4. Регистрация перемещения спиральной трубки обычно рычажно-стрелочная, когда конец спиральной трубки связан через зубчатый сектор 3 со стрелкой 1.
Деформационные мембранные преобразователи различаются в зависимости от способа регистрации перемещения мембраны и метода измерения. В барометрах используется схема, показанная на рис. 6.3, а. Внутри герметичной полости, образованной мембранами 1, создается сравнительное давление рСр. Если измеряемое давление р не равно рСр, то происходит деформация мембран и перемещение стрелки, пропорциональное разности давлений (pcp—p)=kx, где k — коэффициент пропорциональности.
Такой прибор измеряет разность давлений и поэтому называется дифференциальным.