§ 5.1. Общая характеристика

Физико-химические методы получения вакуума позволяют для работы в определенном диапазоне давлений создавать насосы с лучшими, чем у механических, технико-экономическими показателями. Существенное преимущество физико-химических насосов перед механическими заключается в возможности устранения загрязнения откачиваемой камеры парами рабочих жидкостей, которые присутствуют во многих механических насосах для смазки и герметизации.  

В связи с тем, что теплота конденсации обычно меньше теплоты адсорбции, криоконденсация одного и того же количества газа наблюдается при более низких температурах, чем криоадсорбция, что делает техническую реализацию криогенной системы криоконденсационного насоса более сложной, чем криоадсорбционного. Преимуществом криоконденсационной откачки является большая быстрота откачки на единицу площади охлаждаемой поверхности.

Принцип ионной откачки совместно с сорбционным используется в конструкциях ионно-сорбционных насосов. Диапазоны рабочих давлений промышленных и лабораторных образцов насосов, работающих на принципах фикизо-химической откачки, показаны на рис. 5.1.