§ 4.2. Механические вакуумные насосы

Среди механических вакуумных насосов можно выделить объемные и молекулярные. Объемные насосы осуществляют откачку за счет периодического изменения объема рабочей камеры. Имеется несколько конструктивных вариантов таких насосов; поршневой, жидкостно-кольцевой, ротационный.

Молекулярные насосы работают за счет передачи молекулам газа количества движения от твердой, жидкой или парообразной

быстродвижущейся поверхности. Среди них различают водоструйные, эжекторные, диффузионные, молекулярные с одинаковым направлением движения откачивающей поверхности и молекул газа, турбомолекулярные с взаимно перпендикулярным движением твердых поверхностей и откачиваемого газа. Характеристики таких насосов могут быть рассчитаны на основании закономерностей внутреннего трения в газах.

  Дополнительным обязательным параметром механических вакуумных насосов является наибольшее выпускное давление р_в —максимальное давление в выходном сечении насоса, при котором он может осуществлять откачку. При выпускных давлениях, меньших давления р_в, быстрота откачки и предельное давление насосов слабо зависят от выпускного давления. Если выпускное давление превысит значение р_в, то происходит так называемый срыв насоса, сопровождающийся резким ухудшением его предельного давления и быстроты откачки (рис. 4.5).