§ 3.9.2. Расчет коэффициента захвата откачного устройства

В качестве иллюстрации рассмотрим пример расчета коэффициента захвата откачного устройства в виде цилиндра диаметром d и высотой l=2d с сорбирующими стенками 2 (рис. 3.15). Молекулы входят в цилиндр с косинусным угловым распределением. Газовыделение со всех остальных поверхностей отсутствует. Коэффициент отражения молекул от входного отверстия (поверхность 1) p1 = 0, на стенках р2.3=0,5.

Система уравнений (3.70) для рассматриваемого объекта принимает следующий вид:

Для нахождения углового коэффициента фзь определяющего вероятность попадания молекул с поверхности 3 на поверхность 1, воспользуемся табл. 3.8, откуда

Для l=2d из (3.81) φ₃₁ = 0,057. Для определения остальных угловых коэффициентов воспользуемся условиями симметрии φ₃₁=φ₁₃; φ₂₁=φ₂₃; φ₁₂=φ₃₂; логическими соображениями φ₁₁= φ₃₃=0; свойством взаимности φ₁₂== φ₂₁F₂/F₁; свойством замкнутости φ₁₂=1— φ₁₃; φ₂₂=1— φ₂₁— φ₂₃, которые позволяют найти все остальные коэффициенты:

Решая систему (3.80), получим QP_i = QA_i; Qp₂=0,66QA_i; Qp₃= 0,138(2д1. Поток молекул, выходящий из объекта через поверхность 1, определим по формуле Qi=:(piiQpi + (p2iQp2