5.4.3. Преобразование рельефа катода - Ашкинази Л.А.

Рассмотрим участок поверхности, имеющий области с тре­мя наклонами (рис. 56). Профиль, получающийся после распы­ления, показан пунктиром. На участке с наклоном 8 = в_т распыление, согласно рис. 56, максимально. Мы видим, что зона с этим наклоном «съедает» соседей. Поэтому в самом грубом приближении поверхность должна заполняться бороздами или конусами с углом наклона 0_га (рис. 57). Но иногда эти конусы имеют еще ямочки у основания и «шпиль» наверху...

Все это относится к преобразованию уже имеющегося рельефа, а откуда он берется? Во-первых, шероховатость по­верхности может быть следствием механической обработки поверхности (шлифовки, точения и т. д.); во-вторых, она может возникнуть, если коэффициенты распыления поверхно­сти в разных ее местах различны из-за различий в составе или структуре поверхности, и, наконец, атомы на углах держатся слабее и, следовательно, распыляются легче.

Добавим, что при касательном падении пучка ионов малой энергии, такой, что распыление только-только становится заметно, шероховатость, оставшаяся на поверхности после механической обработки, сглаживается.

Но то, что происходит при катодном распылении многоком­понентных соединений, устроено еще сложнее. Можно еще догадаться, почему примесь одного металла к другому иногда вызывает образование рельефа при распылении: слабо распыляющаяся (а по некоторым теориям — тугоплавкая) примесь, если ее атомы сосредоточены на каких-то участках, защищает от распыления находящийся под ней материал. Но почему добавка нескольких процентов висмута к меди увели­чивает коэффициент распыления наполовину? Почему добав­ление нескольких процентов алюминия к золоту снижает распыление в десять раз? Для распыления сплавов суще­ствует несколько теорий и иногда то одна из них, то другая способны правильно предсказать результаты отдельных экспе­риментов...