4.10.2. Кинетическая ион-электронная эмиссия - Ашкинази Л.А.

При бомбардировке ионами можно анализировать посту­пающие из образца атомы, ионы, электроны и электромагнит­ное излучение. Электромагнитное излучение может генери­роваться двумя способами. Когда ион водорода или гелия

с энергией более 100 кэВ входит в материал, он выбивает электрон из внутренней оболочки атома, на это место пере­ходит электрон из внешней оболочки и одновременно испус­кается квант рентгеновского излучения. Энергия кванта равна разности энергий электрона на двух оболочках, и она различна для разных элементов. Но применение ядер с указанной энергией для исследования поверхности технически сложно. А для прочих ионов при меньших энергиях механизм гене­рации излучения следующий: при сближении иона и атома электрон переходит из атома в ион (если в ионе есть на какой-либо из оболочек подходящее по энергии незаполненное место (вакансия)). В результате образуется вакансия уже в атоме, а дальнейшее нам известно: другой электрон попадает в эту вакансию и генерируется квант. При переходе электрона с внешней оболочки на внутреннюю избыточная энергия может не только выделяться в виде кванта электромагнитного излучения, но и передаваться какому-либо

другому электрону. Если полученной энергии окажется доста­точно, электрон может покинуть атом. По энергии такого электрона также можно установить, из атома какого элемента он произошел. С этим процессом мы еще встретимся при рассмотрении облучения поверхности электронами, ибо выбить электрон из внутренней оболочки атома можно и другим электроном.