3.6.1 Как откачивать лампы?

Улучшение вакуума в электронных приборах уже более полувека является стимулом к разработке новых насосов. Работа большой группы насосов основана на поглощении газов при напылении на охлаждаемые поверхности. Эти насосы называются сублимационными. Чаще всего напыляют титан. Свеженапыленная пленка сорбирует газы, а если охладить ее, например, жидким азотом, вероятность прилипания к ней молекул  увеличивается.  Титан  в  таких   насосах испаряют путем сильного нагрева, пропуская по проволоке ток, нагревая! титан тепловым излучением или электронным лучом. Одна из возникающих при этом проблем — запыление изоляторов парами металла и попадание этих паров в откачиваемый объем. Другая — нагрев стенок насоса тепловым излучением, испаряемого металла, которое распространяется так же прямо­линейно, как его атомы. А было бы, желательно, чтобы эти стенки, как уже говорилось, были холодными... Как решают эти проблемы? Изоляторы, как обычно в вакуумной технике, защищают от напыления экранами. Но стенки экранами защитить от излучения нельзя, поскольку напыление будет идти не на охлаждаемые стенки, а на эти экраны.

Применяют метод импульсного испарения, основанный на том, что при увеличении температуры скорость испарения растет быстрее, чем тепловое излучение. Поэтому лучше не испарять и при этом непрерывно излучать, а короткое время испарять при более высокой температуре, а потом более продолжительное время и не испарять, и не излучать. В паузе напыленная пленка титана связывает остаточные газы. Кроме того, импульсное испарение позволяет защищать с помощью подвижных экранов, закрывающихся на время испарения, откачиваемый объем от попадания в него атомов титана.Скорость откачки этого насоса (как и любого другого) хоте лось бы увеличить, и особенно по инертным газам, которые сорбируются плохо.

Вот если бы уметь ионизировать оста точные газы и, ускорив получившиеся ионы, «вбивать» их стенку. Сделать такой насос, называемый ионным, можно но уж если ионизировать остаточный газ, то его ионы можно HJ только «заколачивать» в титан, но заодно ими же этот титан распылять. Свежая титановая пленка будет поглощать активные газы, а инертные газы будут откачиваться вбиванием, заодно напылять пленку для поглощения активных газов.