1.8.2. Барометр и ртутный манометр
Какие же бывают вакуумметры? Начнем с приборов, измеряющих именно давление, а не концентрацию. Один из таких приборов вам, конечно, известен, и называют его или барометром (при измерении атмосферного давления), или манометром. Измеряет этот прибор разность давлений по обе стороны деформируемой стенки (например, мембраны). Принципиальная схема прибора показана на рис. 8 (метод измерения перемещений мембраны может быть любым). Поскольку деформация мембраны зависит от разности давлений, то можно измерять разности давлений, или же одно из давлений должно быть известно, чтобы можно было измерять другое. Возможны, в принципе, два варианта: а) когда одно из давлений атмосферное; б) когда с одной из сторон мембраны имеется откачанный до известного вакуума герметичный объем. Диапазон давлений, измеряемых такими приборами, составляет от 106 Па (10 атмосфер) до 10 Па. Расширение диапазона в сторону больших давлений не представляет трудностей, а вот в сторону меньших давлений — сложнее: деформации гибких элементов становятся столь малыми, что измерять их становится трудно.
Давление измеряют и ртутные манометры. Вместо мембраны в них используется ртуть, помещенная в U-образную трубку. Конструкция простейшего такого прибора вам, конечно, известна, и поскольку на заре вакуумной техники они были основными приборами для измерения вакуума, конструкция их постоянно совершенствовалась и ценой усложнения удалось увеличить их чувствительность. Однако высокий вакуум этими вакуумметрами измерять все же нельзя (чувствительность при низких давлениях мала), к тому же пары ртути ядовиты, стекло хрупко, и в итоге эти приборы почти не используются.
Были попытки заменить ртуть другими жидкостями, например маслом. Чувствительность прибора возрастает, но в масле растворяются газы, а оно само испаряется и загрязняет вакуумную систему. Диапазон давлений, измеряемых ртутными вакуумметрами, путем их усовершенствования удается расширить до 105-10-4 Па.