1.6.2. Ртутный диффузионный насос

Конечно, у ртутных диффузионных насосов обратный поток тоже был, но при этом было известно, из чего он состоит — из ртути. Масло же не соединение, а смесь, зачастую не вполне известного состава. При попадании, например, в электровакуум­ный прибор пары масла могут разлагаться при взаимо­действий с электронами и количество различных веществ в объеме прибора становится еще больше. А если учесть, что пары масла из механического насоса могут попасть в диффу­зионный насос и через него — в откачиваемый объем, то понятно, что разобраться после этого, что попало в прибор, становится довольно трудно, а порой просто невозможно.

Достоверно известно, что при замене в диффузионном насосе одного сорта масла другим брак при производстве электровакуумных приборов может увеличиться в несколько раз. Известно также, что пары масла, осевшие на электроды, бомбардируемые электронным пучком, полимеризуются и обра­зуют диэлектрические пленки. Иногда эти диэлектрические пленки превращаются в черное шероховатое покрытие из слабо сцепленных друг с другом частиц углерода. Но когда и что получается, заранее не ясно.

Чтобы не заканчивать рассказ о диффузионных насосах печально, повторим, что конструкция их достигла высокой степе­ни совершенства, что поток масла можно сделать довольно ма­лым и что насосы эти успешно эксплуатируются до сих пор. В технике вообще редко бывает, чтобы новое полностью вытес­няло старое — обычно новое ограничивает область применения старого и стимулирует его совершенствование.

Успешно применяются по сей день и механические насосы, когда-то составлявшие вместе с диффузионными весь «арсенал» откачных средств.

Как лучше распорядиться этим небольшим выбором? Напри­мер, можно применить последовательное соединение двух насосов. Оно применяется в тех случаях, когда насос, откачивающий газ непосредст­венно из вакуумной камеры, должен иметь на выпускном конце не атмосферное дав­ление, а пониженное. Существует следующее стандартное сочетание: диффузионный насос работает на механичес­кий, а механический — на ат­мосферу.

Иногда последовательное соединение нескольких насо­сов реализуется конструктив­но как один насос. Такой прием применяется в диффузион­ных насосах (рис. 6). Чем ниже расположено кольцевое сопло, тем более плотная струя пара из него выходит. Более плот­ные струи пара обеспечивают малый обратный поток, менее

плотные — высокую скорость откачки. Разумеется, поток откачиваемого газа у всех струй одинаков, но давление от­качиваемых газов больше для струй, расположенных ниже, а значит, скорость откачки для струй, расположенных ниже, меньше, как это и показано на рис 6. Произведение давления разреженного газа на скорость откачки должно быть одинаково во всех сечениях насоса — ведь количества газа, проходящие через все сечения насоса, одинаковы.