Приложение

В последние годы для получения высокого и сверхвысокого вакуума все шире используются методы и насосы безмасляной откачки, из которых наиболее прогрессивными являются криогенные, турбомолекулярные и магнитные электроразрядные насосы [1, 2]. Ниже приведены относящиеся к насосам этих типов результаты работ последних лет, которые не вошли в книгу Я. Грошковского.