Б. Сорбционные насосы

Откачиваемый сорбционным методом газ в принципе остается внутри насоса1) в связанном виде на сорбирующих поверхностях или в подповерхностных слоях.

Скорость откачки сорбционных насосов вообще пропорциональна площади сорбирующей поверхности. Величина получаемого при сорбционной откачке предельного давления зависит от степени десорбции с откачивающей поверхности.

Среди сорбционных насосов различаются:

1)криогенные насосы, в которых время пребывания молекул адсорбированного газа очень велико благодаря низкой температуре поверхности;

2)цеолитовые насосы, в которых связывание газов происходит на сильно развитых поверхностях пористых материалов при температуре окружающей среды или при пониженной температуре (низкотемпературные цеолитовые насосы);

3)сублимационные насосы, состоящие из чистых, сильно сорбирующих поверхностей, которые получают путем конденсации паров или напыления специальных металлов, сорбирующих или покрывающих адсорбированные газы. Эти поверхности, кроме того, могут быть предварительно охлаждены (низкотемпературные сублимационные насосы), а газы — ионизированы (ионно-сублимационные насосы);

4)ионные насосы, в которых откачиваемые газы подвергаются предварительной ионизации и ускорению с целью их активации для лучшего поглощения сорбирующими поверхностями.

1)Исключением является адсорбционно-проточный насос, в котором адсорбированный на поверхности газ вместе с поверхностью перемещается за пределы откачиваемого объема.