Б. Измерение парциальных давлений

Наиболее адекватную картину состава газов в вакууме дает линейчатый спектр давлений1), представленный, например, на фиг. 5.71, где положение полоски на оси молекулярных (атомных) масс определяет род газа, высота же - eгo парциальное давление.

Приборы, служащие для получения спектров отдельных масс, называются газоанализаторам или масс-спектрометрами (спектрографами).

За последние годы масс-спектрометрия быстро развивалась и составляет в настоящее время обширный раздел вакуумной метрологии.

1) Он в некоторой степени искажается газами, которые вводит в вакуумную систему измерительное устройство