7.10. Установки для получения очень высокого вакуума

Цеолитовые насосы, включаемые последовательно, снижают давление от атмосферного вплоть до давления порядка 10-3 Тор; после этого включается электроразрядный и, если надо, сублимационный насос Изменение давления по времени при работе насосов показано на фиг. 7.30.

Сублимационный насос обеспечивает скорость откачки (азота) — 8000 л•с-1. Откачка производится с помощью четырех вольфрамовых стержней (нагреваемых электрическим током до высокой температуры), на которые навита титановая проволока. Титан осаждается из паров на стенки резервуара насоса.

Магнитный электроразрядный насос с холодным катодом обеспечивает скорость откачки 400 л•с-1. Цеолитовые насосы для повышения эффективности откачки можно погружать в сосуды Дьюара с жидким азотом; регенерация цеолита проводится путем нагревания.

В принципе установка может работать без охлаждения жидким азотом. Рекомендуется прогревать колпак и резервуар сублимационного насоса (до умеренно высокой температуры) при помощи асбестовых тканей, прошитых нагревательной проволокой.

Активные газы откачиваются цеолитовыми и сублимационным насосами, неактивные газы — магнитным электроразрядным насосом.

Стеклянная насосная установка для создания сверхвысокого вакуума в небольших объемах была описана в разд. 4.2.2.6. Давление порядка 10-13 Тор можно также получить с помощью одного лишь диффузионного насоса при условии идеального обезгаживания системы и вымораживания паров ртути жидким азотом.