6.7. Вспомогательные вакуумные резервуары

Резервуар часто снабжается манометром для измерения форвакуума, а иногда предохранительным устройством, включающим форвакуумный насос, когда давление в резервуаре поднимается выше допустимого.

На фиг. 6.42 показана вакуумная камера для проведения исследовании или технологических процессов в высоком и очень высоком вакуумах. Она имеет ряд отверстий различного диаметра с патрубками, позволяющими присоединять различные агрегаты и приборы (например, насосы, вакуумметры, токовводы и т д ) Натекание в такой камере может составлять не более 10-9 Тор•л•с-1. Камера допускает прогрев до ≈620 К. В нижнем фланце, охлаждаемом водой, можно применить пластмассовое уплотнение. Другие уплотнения камеры металлические Примерные размеры камеры: диаметр D 350 см, высота H 450 см.