6.6.1. Клапаны

Для изоляции друг от друга отдельных объемов вакуумной системы используются приспособления, подобные тем, которые применяются при соединении труб, т. е. эластичные (в вакууме выше 10-8 Тор) и (реже) металлические уплотнения (при давлениях ниже 10-8 Тор). Последние требуют сильного прижима, а поэтому непригодны для отверстий большого диаметра.

В случае трубопроводов большого сечения находят применение заслоночные клапаны (фиг. 6.29), в которых заслонка перемещается перпендикулярно оси трубопровода; когда клапан открывается, заслонка убирается в плоскую камеру. При закрытии клапана заслонка, снабженная кольцевой эластичной прокладкой, прижимается к кольцевому уплотнительному выступу (седлу) корпуса клапана.

Перемещение подвижного элемента клапана может производиться от руки (маховиком или рычагом - такой клапан часто называют вентилем), с помощью электромагнита, пневмопривода, гидропривода и т. п.

Заслонка клапана, установленного в диффузионном насосе одновременно может служить и отражателем пара (фиг 6 30). В таких насосах диаметр проходного сечения клапана может составлять 10—200 мм, что соответствует расходам от нескольких литров в секунду до 20000 л•с-1. Для закрытого клапана диаметром, например, 15 см с эластомерным кольцевым уплотнением натекание составляет ≈5•10-7 л•с-1. Для клапана с металлическим уплотнением и острой посадочной кромкой натекание может быть очень малым (~10-14 л•с-1).