6.4. Вакуумпроводы

с различными уплотнениями. Вид соединений и уплотнений выбирается в зависимости от назначения трубопровода и характера возможных неисправностей. Особыми элементами трубопроводов являются колена, разветвления (фиг. 6.10) и переходники, служащие для соединения трубопроводов различных диаметров (фиг. 6.11) или трубопроводов из различных материалов (фиг. 6.12).

Гибкие соединения. В тех случаях, когда соединения различных элементов вакуумной установки должны быть гибкими, а условия вакуума не позволяют применять резину, используются сильфоны, выполненные из латуни или, еще лучше, из нержавеющей стали толщиной —0,15 мм (фиг. 6.13). Соединения сильфонного типа применяются также для передачи вращательного движения извне внутрь вакуумной системы, в клапанах и т. п. В вакуумной технике применяются сильфоны диаметром от 10 до 200 мм. Они допускают большие линейные перемещения, а максимальный угол изгиба зависит от диаметра сильфона. Например, при диаметре сильфона D 30 мм угловое отклонение может достигать 120° при радиусе изгиба 50 мм. .

Латунные сильфоны припаиваются к трубопроводам твердыми припоями, а остальные —посредством электронно-лучевой или дуговой сварки в атмосфере аргона или гелия.

Наконец, находят применение сильфоны из твердого стекла (например, пирексового) диаметром ~15 мм, длиной ~150 мм

(фиг. 6.13,в). Они используются в качестве компенсационных элементов в стеклянных или стеклометаллических высоковакуумных установках небольшого объема.