6.2.1.2. Обезгаживание и откачка

Все металлические детали перед монтажом или введением их в вакуумную установку должны быть обезгажены посредством нагревания. Таким путем устраняются не только значительное количество абсорбированных и окклюдированных газов, которые остались в металле при его изготовлении или были поглощены им при соприкосновении с воздухом во время хранения и транспортировки, но и загрязнения органического происхождения (как, например, смазка, жиры, пот от рук и т п), а также восстанавливаются окислы, образовавшиеся на поверхности в процессе обработки (например, во время сварки) 1).

Обезгаживание металлических деталей производится в специальных вакуумных или водородных печах2). Продолжительность обезгаживания зависит от рода металла. Давление в вакуумной печи при этом не должно превышать 10-3 Тор (≈0,13 Па).

Температура обезгаживания должна быть по возможности высокой (какую допускают физико-механические и химические свойства данного металла), так как скорость удаления газа растет с температурой. Для большинства металлов температура обезгаживания в вакууме составляет 1100—1800 К, в водороде 900—1400 К.

В табл. 6.1 представлены данные по времени и температуре обезгаживания металлов в различных условиях. На фиг. 6.2 показано, как уменьшается удельная десорбция нержавеющей стали (при 670 К), алюминиевого легкого сплава и борокремниевого стекла (при 300 К) со временем при различных состояниях их поверхностей.

1)Металлические детали перед обезгаживанием должны быть хорошо обезжирены (например, промыванием в чистом треххлористом этилене) во избежание взаимодействия углеводородов жира с металлом.

2)В водородной печи нагретые металлические детали находятся в атмосфере чистого водорода (под давлением, несколько превышающим атмосферное) или смеси, содержащей 20% Н2 и 80% N2 (так как не все металлы могут быть обезгажены в водороде; см. табл. 6.1).