6.13. Обслуживание вакуумных систем

В связи с этим материалы, предназначенные для применения в условиях вакуума, должны быть не только обезгажены, но их поверхности перед помещением в вакуум должны быть очищены и обезжирены путем травления, механической и электролитической полировки и т. п. Поверхности должны быть гладкими и не должны иметь пор и трещин.

Обезжиривание осуществляется в соответствующих ваннах химическими и физическими методами (в органических растворителях: бензине, бензоле, эфире, четыреххлористом углероде и т. д.) или электролитическими методами (в щелочных растворах).

Травление (заключающееся в удалении окислов и т. п.) проводится в химических ваннах при комнатной или повышенной температуре или осуществляется электрохимическим путем. Травление не должно быть слишком кратковременным.

Очистка осуществляется главным образом перед монтажом вакуумных приборов, так как после монтажа она затруднительна или просто невозможна, тем более что при очистке химическими методами следует иметь в виду, что различные загрязняющие вещества требуют различных очищающих средств. Так, например, стекло сначала очищают щелочами, которые его обезжиривают, затем хромовой кислотой (желательно горячей), азотной кислотой или неконцентрированным раствором фтористоводородной кислоты. Затем стекло следует очень тщательно промыть обычной кипяченой водой и ополоснуть сначала дистиллированной водой, а затем для ускорения сушки — спиртом или эфиром.

Металлы очищаются различными реактивами, главным образом кислотами. Лучшим способом их очистки является прокалка в атмосфере водорода или в вакууме. Важность предварительной очистки внутренних поверхностей вакуумного прибора снижается, если этот прибор можно во время откачки нагреть до высокой температуры, при которой органические вещества разлагаются или испаряются.

Хороший результат получается, если одновременно с обезжиривающими ваннами облучать поверхность звуковыми или ультразвуковыми колебаниями. Это сокращает время и улучшает очистку, особенно в случае поверхностей сложной формы.

В некоторых случаях вакуумные поверхности покрывают (электролитическим путем) веществами, лучше сохраняющими высокий вакуум. К очищенным поверхностям следует прикасаться лишь руками в перчатках во избежание загрязнения жиром и потом. Такие поверхности должны как можно меньше времени находиться на воздухе. Небольшие вакуумные устройства должны храниться в специальных шкафах под пониженным давлением в атмосфере, свободной от водяных паров.