5.8.2.2. Стандартный метод градуировки манометров в диапазоне давлений 10-3—10-7 Тор

Скорость откачки 5 можно рассматривать как скорость откачки отверстия, за которым расположен насос со скоростью откачки S' >> S; при этом скорость откачки S может быть вычислена на основании размеров отверстия как скорость откачки отверстия, ведущего в идеальный вакуум.

Таким образом, и I и S можно определить с помощью известных основных величин.

Чтобы получить точные результаты измерений, необходимо выполнить ряд условий, из которых самыми важными являются: обеспечение стабильных значений I, р и Т, равномерное распределение плотности газа в камерах, S'>50 S, скорость откачки S много больше (по крайней мере в 100 раз), чем скорость откачки градуируемых и измерительных манометров, а диаметр D0≤ 1 см. Если температуры манометров и камер не одинаковы, следует ввести соответствующие поправки.

На фиг. 5.93 схематически изображена вакуумная система для градуировки манометров. Она состоит из камер для редуцирования давления и из волюмометрического устройства для дозирования притока газа. Волюмометрическое устройство позволяет регулировать и поддерживать постоянным мгновенный расход I, а также регистрирует суммарный расход газа V с известным давлением р0 за определенное время т.

Скорость откачки диффузионного насоса регулируется с помощью задвижки 8. Манометры, подлежащие градуировке, присоединяются к верхней камере. Проводимость калиброванного отверстия 2 вычисляется на основании его размеров.