5.7.3. Замечания, касающиеся масс-спектрометров

 

Как и в вакуумных манометрах с горячим катодом, в спектрометрах содержание некоторых газов, особенно кислорода, обычно занижается вследствие химических реакций газов с горячим катодом. С другой стороны, горячий катод, а также электронная десорбция с поверхности могут приводить к разложению (крекингу) некоторых сложных газов, а чистые поверхности могут стать катализатором синтеза простых газов. Вследствие этих эффектов спектрограмма может иметь ряд полос, которые искажают истинную картину вакуума.

В табл. 5.8 даны для примера величины (в %) полос помех, которые могут появиться в масс-спектрометре при анализе остаточных газов. Масс-спектрограмма, представленная на фиг. 5.71, является свидетельством интенсивного крекинга на вольфрамовом катоде, имеющем температуру более высокую, чем катод из борида лантана.

Так, например, аргон с массой М0(Ar) = 40, которой соответствует собственная полоса 100, имеет полосу помех при М0 = 20, а гелий с массой М0(не) = 4 — полосу помех при М0 = 2. Очевидно, молекулярный кислород с массой М0(O2) = 32 может иметь полосу атомарного кислорода при М0(O) = 16. Эта полоса может и не быть полосой помех. Упрощенные масс-спектрометры (настроенные на определенную молекулярную массу) находят широкое применение в качестве так называемых течеискателей.

ПредыдущаяСледующая