5.7. Масс-спектрометры

Источники ионов. В масс-спектрометрах ионы создаются — как и в электронных ионизационных вакуумных манометрах — обычно путем ионизации газа бомбардирующими электронами. Пример такого источника ионов представлен на фиг. 5.74. Поток электронов из катода К, образованный при помощи электрических линз 1 и 2, входит в пространство ионизационной камеры, где вызывает ионизацию газа, а затем достигает анода А. Ионы, ускоряемые и сформированные в пучок при помощи диафрагмы 3, попадают в выходное отверстие ионной пушки, откуда с разными скоростями, зависящими от их масс, входят в сепаратор.

Другим простым источником ионов может быть цилиндрический сеточный анод с отверстием в концевой сетке, как в ионизационных манометрах с внешним коллектором.

Электронные токи в источниках ионов невелики (от нескольких до нескольких десятков микроампер).